产  品 - 感应加热电源系列
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AtecD系列的C型感应加热电源用于晶体生长和半导体加工:
AtecD系列的C型感应加热电源是专为晶体生长和半导体加工设计的输出功率高稳定型产品,在 DSP 的控制下,其输出功率稳定性可达 0.1% ,分辨率达 0.02% ,并且在恒功率运行时,输出功率不受电网波动以及其它加热条件变化的影响,可实现对晶体生长高稳定度功率输出的要求。
采用RS232C或RS485进行通讯控制,对于额定功率40kW机器,可实现10W的功率输出步长调节。
也可以用就地电位器进行控制,“给定锁存技术”也可以保证输出功率稳定性达到0.1%(对电位器的给定值进行锁存)。
装置具有恒功率运行和恒电流运行模式,两种模式的输出稳定性均达到0.1% ,晶体生长和半导体加工应用时,一般均采用通讯控制、恒功率运行模式。
经阻抗匹配,可适合各种坩埚,例如石墨坩埚、铂金坩埚、铱坩埚等。
全空冷结构,系统效率高,功率因数高。
额定功率连续运行设计,系统故障率低,装置无水系统故障。
多种控制方式以及丰富的接口,容易实现自动控制。
在DSP的精确控制下,频率自动跟踪,保证设备工作在最佳谐振状态;且在电网电压波动情况下,输出功率能保持不变。
保护限制功能齐全可靠,在感应器短路、工件短路、过载运行、电网波动等异常情况下设备不损坏。
输出变压器隔离,感应器电压低、且可以单端接地。
空冷变压器设计寿命 10 年以上,无铜管堵塞问题。
无极性滤波电容设计寿命 10 年以上(电解电容低于 5 年)。
中文显示界面,参数在线设置功能。
晶体生长和半导体加工型感应加热电源输出功率精度
对输出功率高稳定型的控制一般要采用数字式的通讯控制(外部 PC 或 PLC 做为主机),否则可能达不到所需的精度和分辨率,就地电位器“给定锁定技术”虽然可使输出保持稳定,但给定值难以调节到所需的高精度,远方的 4-20mA 输入。
输出功率高稳定应用场合时,一般不再使用内置的 PID 进行控制,否则达不到所需的精度要求。