AtecFC高精度中频型,

AtecDC高精度高频型

全空冷+DSP控制+IGBT逆变+电抗分析法;

保持所有Bamac-Atec系列感应加热电源的常规特性。


输出功率和输出电流精度优于0.05%,分辨率达到0.01%以上,恒功率运行时可以提供1W级的可控步长。


可适用于:碳化硅、蓝宝石、激光晶体等各种晶体;高频高精度型适用于区熔、半导体提纯以及冷坩埚等应用。


坩埚类型:石墨坩埚、依金坩埚、钨钼坩埚等、铂金坩埚。


高可靠性设计和严苛的工厂装配、测试、老化并排除不稳定元器件,使您的生产以及设备损失降至最低;数月连续大功率运行不间断运行能力。


RS485/RS232串行通讯控制,数字式无差给定,支持MODBUS协议和Bamac专用协议,例如恒功率运行可直接数字给定35.187kW,以及获取例如35.186kW的实际运行功率。


两路0.025%高精度模拟量输入,可用于远控给定和温度输入,两路0.05%高精度模拟量输出用于信号反馈。


内置数字式恒功率或恒温度PID闭环控制模块,可以省略外部控制器(例如欧陆表)。


真正意义上的高精度感应加热电源,功率线性度优于0.05%,输出功率不受谐振频率、相位、电网波动等因素影响。


宽的动态可调节范围:输出功率的稳定调节范围可达0.1%-100%。


自带高精度工艺程序运行模块,可以预置温度、功率或电流曲线。


电源冗余设计,支持UPS、蓄电池、柴油发电机组等备用供电。


输出频率、适配的感应线圈类型、连接类型可按照用户工艺要求订制。


低的运行噪音。


动态响应速度快而且稳定的恒功率运行模式,是高精度机型的主要运行模式。


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